Rapidus、最先端半導体（後工程）の研究開発機能をセイコーエプソン千歳事業所内に設置
～パイロットライン工事安全祈願祭を開催～

Rapidus株式会社（本社：東京都千代田区麹町4丁目1番地、代表取締役社長：小池淳義）は本日、北海道千歳市のセイコーエプソン株式会社千歳事業所内にクリーンルームを構築し、半導体後工程の研究開発拠点「Rapidus Chiplet Solutions（RCS）」を開設すると発表しました。同日、着工にともない、Rapidus セイコーエプソン千歳事業所内パイロットライン工事安全祈願祭が執り行われました。同拠点のクリーンルーム面積は、約9,000m²。Rapidusは、ここで「2nm世代半導体のチップレットパッケージ設計・製造技術開発」をテーマに、自動化も含めたチップレットパッケージの量産技術の開発を進めていきます。2025年4月より製造装置導入を開始し、2026年4月を目標に研究開発活動をスタートする計画です。RCSには、FCBGAプロセス、Siインターポーザ・プロセス、RDLプロセス、ハイブリッドボンディングプロセスに対応したパイロットラインが設置され、装置の自動化等も含めた量産技術の研究開発が行われることになります。

後工程・研究開発拠点「Rapidus Chiplet Solutions（RCS）」の概要

所在地: 北海道千歳市美々758-173
開所予定日: 2025年4月より装置導入を開始
CR床面積: 約9,000m²

後工程およびチップレット集積技術の開発では、2024年4月に経済産業省・NEDO（国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構）により「2nm世代半導体のチップレットパッケージ設計・製造技術開発」が採択され、チップレット集積や2.5次元/3次元実装などの要素技術の開発が進んでいます。同年6月には、ウェーハプロセスだけでなくチップレット技術においてもIBMとパートナーシップを締結しました。この他、LSTC、産総研、東京大学、独Fraunhofer、シンガポールA*STAR IMEなどと連携し開発を進めています。

【セイコーエプソン千歳事業所について】

千歳事業所は、Rapidusが千歳市美々に建設中の半導体製造拠点IIM（Innovative Integration for Manufacturing）に隣接しています。エプソンのプロジェクターの基幹部品である小型液晶パネルを生産する重要な製造拠点となっております。

名称：セイコーエプソン株式会社 千歳事業所
住所：北海道千歳市美々758-173
生産品目：高温ポリシリコンTFT 液晶パネル
従業員数：約200人

【Rapidus株式会社について】

Rapidus株式会社は、世界最先端のロジック半導体の開発、製造を目指す企業です。設計、ウェーハ工程、３Dパッケージなどのサイクルタイム短縮サービスの開発・提供によって、新産業創出を顧客と共に推進していきます。

半導体を通して人々を幸せに、豊かに、充実したものにするために。私たちは、挑戦し続けます。

＜報道関係者の問い合わせ先＞

クレアブ株式会社

犬塚直哉
Email：ninuzuka@kreab.com

八木美希
Email：myagi@kreab.com