IBM ResearchとRapidus、国際会議IEDM 2024で共著論文が採択
UPDATE: 2024.12.10お知らせ
RapidusとIBM Researchは2024年12月9日、米サンフランシスコで開催された半導体分野の国際学会「IEDM 2024」において、共著による研究論文が採択されたと発表しました。これは、両社が共同で達成した重要なマイルストーンとなります。
IBMとRapidusの研究者は、SLR（Selective Layer Reductions、選択的に層を削減する技術）と呼ばれる新しいエッチングプロセスを導入し、2nm以降の最先端トランジスタ製造を実現するための重要なブレークスルーを達成しました。これにより、複数のしきい値電圧を制御できるマルチしきい値電圧を備えたナノシートGAA（ゲートオールアラウンド）トランジスタを構築できるようになります。